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3D-Hochgeschwindigkeitsmessung an Präzisionsoberflächen. Das Weißlichtinterferometer ZeGage Plus

23.09.201513:26 UhrIndustrie, Bau & Immobilien
Bild: 3D-Hochgeschwindigkeitsmessung an Präzisionsoberflächen. Das Weißlichtinterferometer ZeGage Plus
Der Prüfgerätehersteller ZygoLOT GmbH ist für den europaweiten Vertrieb der Messgeräte der Zygo Corp
Der Prüfgerätehersteller ZygoLOT GmbH ist für den europaweiten Vertrieb der Messgeräte der Zygo Corp

(openPR) Der Prüfgerätehersteller ZygoLOT GmbH, Darmstadt, hat das
Weißlichtinterferometer ZeGage Plus auf den Markt gebracht, eine erweiterte Version des Modells ZeGage. Wie das ZeGage ist auch das neue Messgerät dazu vorgesehen, berührungslos 3D- Form- und Rauheitsmessungen an feinstbearbeiteten Oberflächen durchzuführen, bietet im Vergleich zum Vorgängermodell aber mehr Messmöglichkeiten. So kann es eingesetzt werden für Prüfstücke aus Glas, Keramik, Metall und anderen Werkstoffen mit einer noch größeren Vielfalt der Oberflächen-Beschaffenheit, die von sehr rau über geschliffen, geläppt, poliert sowie super-poliert bis zu extrem glatt variieren kann. Das neue Gerät hat einen Scan-Bereich von bis zu 20 mm Höhe, zeichnet sich durch eine hohe Auflösung im Nanometer-Bereich aus und misst mit fast doppelter Scan-Geschwindigkeit die verschiedenen Oberflächenrauheitsparameter gemäß ISO 25178. Da die Daten schneller bereitgestellt werden und der Datendurchsatz größer ist, eignet sich das Gerät besonders gut für Hochgeschwindigkeits-Formmessungen. Wie beim ZeGage ermöglicht die interaktive Mx™-Steuerungssoftware eine klare Visualisierung der Messung. Ein Bildsensor mit 1 Mio. Pixel liefert mit sekundenschnellen flächenhaften Messungen 2D- und 3D-Bilder, die detailliert Einblick in die Oberflächentopographie der Prüfstücke geben.
Das einfach, intuitiv zu bedienende Gerät ist mit einem integrierten Autofokus und einer Fokussierhilfe ausgestattet, die das Einlegen der Prüfstücke erleichtern und den Bedienereinfluss verringern. Der Prozess kann anhand der Visualisierungen durch die Software Mx™ leicht kontrolliert werden.
Das ZeGage Plus ist für Produktionsbereiche vorgesehen, eignet sich aber genauso gut für Forschungseinrichtungen. Zur Installation ist keine Schwingungsisolierung erforderlich.

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