(openPR) Der Prüfgeräte-Hersteller ZYGO Europe führt auf der Fachmesse Control 2016 (Stand 1224) drei opto-elektronische 3D-Oberflächen-Messgeräte vor, die einen weiten Einsatzbereich abdecken: NewView™ 8000, NexView™-Profiler und ZeGage. Die Messgeräte arbeiten nach dem berührungslosen Prinzip der Weißlichtinterferometrie. Das hat den Vorteil, dass flächenhafte Bereiche in sehr kurzer Zeit detailliert vermessen, bewertet und dargestellt werden können und Probenoberflächen beim Messen prinzipiell nicht beschädigt werden.
Das in zwei unterschiedlich konfigurierten Modellen gebaute Weißlichtinterferometer NewView™ 8000 hat einen offenen Portalaufbau und einen 150 mm großen Probentisch. Wegen des modularen Baukonzepts kann das Gerät optimal auf den Einsatz in der wissenschaftlichen Forschung, bei der Produkt- und Prozessentwicklung oder in der Massenfertigung abgestimmt werden. Mit ihm können Präzisionsteile – wie Automotive-Komponenten, strukturierte Halbleiter (Wafers), Mikrofluidik-Teile und mikro-elektromechanische Systeme (MEMS) – mit unterschiedlichsten Oberflächentypen erfasst und zahlreiche Parameter wie Rauheit, Planheit, Winkel und Stufen gemessen werden. Es ist auch möglich, die Schichtdicke von transparenten Schichten zu messen und 2D-Bildverarbeitungsmessungen durchzuführen. Messbar sind Profilhöhen von weniger als 1 nm (10-6 mm) bis 20.000 µm (20 mm) mit einer Sub-Angström-Auflösung in Z-Richtung, unabhängig von Oberflächenstruktur, Vergrößerung oder Höhe. Eine integrierte Schwingungsisolation und die SureScan™-Technologie ermöglichen es, dass auch in vibrationsbelasteter Umgebung extrem präzise Messungen durchgeführt werden können. Zur Geräteausstattung stehen zahlreiche Zubehörteile bereit, darunter automatisierte oder manuelle Achsen, Objektivrevolver und zahlreiche Objektive.
Der für den Einsatz in der Produktion wie in der Forschung gedachte NexView™-Profiler kann bis zu 10 kg schwere Werkstücke aufnehmen (Bild). Der Verfahrweg beträgt in XY-Richtung 200 mm, in Z-Richtung 100 mm. Ein Kopfhebemechanismus ermöglicht es, dass sogar Prüflinge mit einer Höhe von bis zu 160 mm geprüft werden können. Zu den Besonderheiten gehört eine vollautomatische XYZ- und Neigungs-Verstellung mit nahtloser Aneinanderreihung der Messfelder. Die Messgeschwindigkeit ist selbst bei Prüfflächen mit bis zu 85° Steigung sehr hoch, so dass im Vergleich zu Messverfahren, die von der Objektivvergrößerung abhängig sind, Messzeit gespart wird. Darüber hinaus hat das Gerät eine Echtfarbbild-Option. Eine spezielle Fokussierhilfe erleichtert es, die Prüfstücke einzurichten, selbst wenn sie glatt und merkmallos sind. Ein Scanner-basierter Mechanismus schützt die Objektive vor versehentlicher Zerstörung. Das computergesteuerte Gerät kann vorprogrammierte Palettenmessungen durchführen; genauso können automatisiert auch Einzelmessungen eines Werkstücks zusammengesetzt werden. Messbar sind Profilhöhen von weniger als 1 nm (10-6 mm) bis zu 20.000 µm (20 mm) mit einer Sub-Angström-Auflösung in Z-Richtung, und zwar unabhängig von der Oberflächenstruktur, Vergrößerung oder Höhe. Eine integrierte Schwingungsisolation und die SureScan™-Technologie ermöglichen es, dass auch in vibrationsbelasteter Umgebung extrem präzise Messungen durchgeführt werden können
Das ZeGage™ ist dazu ausgelegt, berührungslos 3D-Messungen an feinstbearbeiteten Oberflächen von Teilen aus allen Werkstoffen durchzuführen, und misst die verschiedenen Oberflächenrauheitsparameter gemäß ISO 25178. Das Gerät hat einen Scan-Bereich von bis zu 20 mm Höhe und zeichnet sich durch eine hohe Auflösung im Nanometer-Bereich sowie einfache, intuitive Bedienbarkeit aus. Ein Bildsensor mit 1 Mio. Pixel liefert mit sekundenschnellen flächenhaften Messungen 2D- und 3D-Darstellungen, die einen detaillierten Einblick in die Oberflächentopographie der Prüfstücke geben. Ein in das Gerät integrierter Autofokus und eine Fokussierhilfe erleichtern das Einlegen der Prüflinge und verringern den Bedienereinfluss.
Das ZeGage ist vor allem für den Einsatz in Produktionsbereichen vorgesehen und kann ohne Schwingungsdämpfung oder Spezialgehäuse direkt in der Fabrikhalle eingesetzt werden, um schnelle und präzise Messungen durchzuführen. Das Gerät eignet sich aber genaus so gut für den Einsatz in Werkstofflaboren und Forschungseinrichtungen.
Die Software-Plattform Mx™
Bei den drei Geräten erfolgen die Steuerung, die Systemkontrolle und die Datenanalyse über die Software-Plattform Mx™. Die Software ermöglicht eine intuitive Messnavigation und erzeugt genaue Karten der Oberflächentopographie; die Ergebnisse entsprechen der Norm ISO 25178-Norm. Zu den Möglichkeiten, die die Software bietet, gehören intuitive Bedienerführung, Messfilter, interaktive 3D-Darstellungen in Echtzeit, quantitative Informationen zur Topografie der Messfläche und integrierte SPC-Analysewerkzeuge.
