(openPR) Die bedeutenden Hersteller von Nanoelektronik-Anlagen haben sich zum „ 450-mm-Consortium“ (F450C) zusammengeschlossen, um Anlagen für die 450-Millimeter-Mikrochips der nächsten Generation zu entwickeln und zu produzieren. Busch ist Mitglied in diesem Konsortium und steuert die neueste Vakuumtechnik für diese Anlagen bei. Mit über 50-jähriger Erfahrung auf dem Gebiet der Vakuumtechnik in vielen industriellen Anwendungen hat Busch auch energieeffiziente Vakuumlösungen für anspruchsvollste Anwendungen im Bereich der Halbleiterherstellung im Programm.
„Die Kompetenz von Busch im Bereich Vakuumtechnik ist für das Konsortium ein großer Vorteil bei den Diskussionen über Lösungen für den Übergang zu 450-mm-Anlagen“, so Adrian Maynes, der Leiter des F450C-Programms.
Vakuumsysteme sind eine wichtige Komponente bei der Herstellung von Halbleitern, da sie beim Einsetzen, Beschichten oder Abätzen anfallendes, überschüssiges Material entfernen. Die Vakuumpumpen der nächsten Generation erfüllen die extremen Anforderungen der zukünftigen 450-Millimeter-Prozesse, denn sie sind noch leistungsfähiger, effizienter und zuverlässiger.
„Im F450C sind alle führenden Unternehmen der Branche vereinigt, deshalb sind wir stolz darauf, unsere Kenntnisse im Bereich der Vakuumsysteme einbringen zu können“, so Charles Kane, Präsident von Busch USA. „Die Roadmap für die Entwicklung der 450-Millimeter-Technologie steht schon seit einiger Zeit. Jetzt können auch wir die Weiterentwicklung der mit dem 450-Millimeter-Projekt verbundenen Visionen und Aufgaben mit unseren Konzepten unterstützen.“
F450C ist beim SUNY’s College of Nanoscale Science and Engineering (CNSE) in Albany/USA angesiedeltes Konsortium, das die globalen Aktivitäten zur Planung und zum Bau von Produktionseinrichtungen für 450-Millimeter-Computerchips der nächsten Generation koordiniert. Hier arbeiten zwölf der weltweit führenden Hersteller für Nanoelektronik-Produktionsanlagen zusammen: Air Liquide, Busch, CH2M HILL, CS Clean Systems, Ceres Technologies, Edwards, Haws Corporation, Mega Fluid Systems, M+W Group, Ovivo, Pfeiffer und Swagelok.
Busch ist als führender Anbieter von Vakuumtechnik unter den zwölf Konsortiumsmitgliedern ein wichtiger Partner, der mit seiner großen Produktpalette im Bereich der Vakuumtechnik, seiner langjährigen Erfahrung beim Bau von individuellen Vakuumsystemen und seinem internationalen dichten Servicenetzwerk entscheidend zum Erfolg dieses Programmes beitragen kann.
