(openPR) -- Gemeinsame Entwicklung neuer, umweltfreundlicher Reinigungsverfahren für Mikroelektronik --
Leipzig, 08. März 2012 – bubbles & beyond, ein auf maßgeschneiderte intelligente Flüssigkeiten (intelligent fluids®) spezialisiertes Technologieunternehmen, und das Fraunhofer Center Nanoelektronische Technologien (CNT), Dresden, haben heute ihre Zusammenarbeit zur Entwicklung neuer Reinigungsverfahren im Bereich Mikroelektronik bekannt gegeben.
Im Rahmen der zweijährigen Kooperation werden bubbles & beyond und das Fraunhofer Center Nanoelektronische Technologien neuartige Entschichtungsprodukte für Halbleiteranwendungen entwickeln. Ziel ist es, eine leistungsfähigere, kostengünstigere und vor allem umweltfreundlichere Alternative zur herkömmlichen und zumeist aggressiven chemischen Oberflächenbehandlung zu schaffen. Grundlage für die neue Reinigungsmethode ist die geschützte Phasenfluid-Technologie (intelligent fluids®) von bubbles & beyond, die bereits bei anderen Mikroelektronik-Anwendungen erfolgreich eingesetzt wird. Fraunhofer CNT bringt die erforderliche Halbleiterexpertise, die entsprechenden Forschungskenntnisse sowie umfangreiche hochpräzise Messanalytik in das Projekt ein.
Schwerpunkt der Zusammenarbeit wird die Untersuchung und Optimierung der Wirkung maßgeschneiderter Reinigungssysteme sein. Zusätzlich erfolgt eine Analyse von halbleiterspezifischen Kriterien, z.B. kritischen Materialien, Prozessstabilität und Kontaminationsrisiken. Auf Grundlage dieser Erkenntnisse wird zunächst die Eignung der neuen Technologie zur Entfernung von Lithographielacken untersucht und später auf weitere Prozessschritte ausgedehnt.
“Die Kooperation mit dem Fraunhofer Center Nanoelektronische Technologien ist für uns ein wichtiger Schritt zum Ausbau unserer Marktpräsenz im Bereich Mikroelektronik”, sagt Christian Römlein, Geschäftsführer von bubbles & beyond. “Das CNT verfügt über einzigartige Expertise mit Halbleiteranwendungen und bringt unverzichtbares Know-how in die Zusammenarbeit ein. Der Bedarf nach effizienter, schneller und umweltfreundlicher Oberflächenbehandlung von Halbleitern ist so groß, dass bereits in dieser frühen Kooperationsphase namhafte Industrieunternehmen ihr Interesse bekundet haben.”
“Innovative Ideen zusammen mit Industriepartnern in praxistaugliche Technologien für die Mikroelektronik umzusetzen ist eine unserer Missionen“, ergänzt Matthias Rudolph, Projektleiter am Fraunhofer CNT. „bubbles&beyond ist mit seiner anwendungserprobten Plattform an phasenfluidbasierten Reinigungssubstanzen ein idealer Partner für die gemeinsame Entwicklung von effektiveren und umweltfreundlicheren Reinigungsprozessen im Bereich der Halbleiterindustrie. Wir freuen uns auf die Zusammenarbeit mit dem jungen Leipziger Unternehmen und erwarten neuartige Lösungen für vielfältige Anwendungsbereiche.“
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