Vistec Electron Beam Lithography Group

Die Vistec Electron Beam Lithography Group ist ein international agierender Hersteller von Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen. Die Gruppe umfasst die US-amerikanische Vistec-Lithography, Inc., ein weltweit führender Hersteller von Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen, die nach dem sogenannten Punktstrahlprinzip arbeiten, und die Thüringer Vistec Electron Beam GmbH, welche über mehr als 30 Jahre Erfahrung in der Entwicklung und Herstellung von VSB-Geräten (Variable Shaped Beam Technologie) verfügt. Aufgrund dieses breiten Technologie-Portfolios, lassen sich Vistec-Anlagen weltweit sowohl in der Industrie als auch in Forschungseinrichtungen und Universitäten wiederfinden. Einsatzgebiete sind die Halbleiterindustrie, die Nano- und Biotechnologie sowie photonische Anwendungen. Neben Produktionsstandorten in Deutschland und den USA unterhält Vistec Service-Niederlassungen in Europa, den USA und Asien. Weitere Informationen: www.vistec-semi.com