Ultrapräzise Feinstverstellung für Lineartische

(openPR) Um mit manuellen Linear-Stages eine Positioniergenauigkeit von wenigen Nanometern zu ermöglichen wurde von piezosystem jena ein spezieller Piezoantrieb entwickelt. Basierend auf einer Kundenanfrage für Systeme der Firma NEWPORT wurde ein Element mit der Bezeichnung MICI 180 NP konstruiert und als Lösung eingesetzt. Das Antriebselement ermöglicht es, die Position eines manuellen Linear-Stages mit einer Genauigkeit von < 25nm reproduzierbar zu steuern.

Das Antriebselement wurde zwar speziell für den Einsatz an Linear-Stages der Firma Newport entwickelt, kann aber auch an andere Systeme angepasst werden. Eine Nachrüstung in vorhandene Systeme ist ebenso möglich. Der Piezoantrieb wird direkt zwischen Antriebsspindel des Tisches und der Mikrometerschraube montiert. Der Nutzer kann mittels Mikrometerschraube die grobe Position des Tisches Voreinstellen, die Feinjustage erfolgt mittels Piezoantrieb. Dieser bewegt die Mikrometerschraube entsprechend dem Ansteuersignal nm genau. Um dem Nutzer den genauen Positionswert zu übermitteln, kann der Piezoantrieb der Serie MICI mit einem integrierten Sensor ausgerüstet werden. Dessen Signal wird über den Piezocontroller dargestellt. Die konstruktive Auslegung der MICI erlaubt eine Modifizierbarkeit für alle gängigen Typen von Mikrometerschrauben. Je nach Ausführung beträgt der typische Stellbereich der MICI Systeme 40µm bis 180µm.

piezosystem jena GmbH
Prüssingstrasse 27
07745 Jena

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