(openPR) Mehr als 6000 Besucher waren auf der SEMICON Europa 2014 zu Gast. Als führender Hersteller im Bereich der Dünnschichtmesstechnik und Plasmaprozesstechnologie war es uns besonders wichtig, mit Anwendern aus der Industrie ins Gespräch zu kommen und unsere marktnahen Produkte vorzustellen. Dieses Jahr wurde der „ALD Real Time Monitor“ vorgestellt, welcher unsere ALD Systeme mit Insitu-Messtechnik ergänzt. Mit dem Real Time Monitor können Adsorption und Desorption während des ALD Prozesses aufgelöst werden. Dies dient besonders der Optimierung von ALD Prozessparametern. Der Vorteil gegenüber herkömmlichen Methoden ist, dass das optische Verfahren auf der tatsächlichen Probenoberfläche misst.
Wir waren erfreut über das rege Interesse an unserem neuen Produkt, dem ALD Real Time Monitor. Wir freuen uns auf die kommende SEMICON Europa 2015, welche dann wieder in Dresden stattfinden wird.
Presseinformation
SENTECH präsentiert den neuen ALD Real Time Monitor auf der SEMICON Europa
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Schwarzschildstr. 2, 12489 Berlin, Germany
Phone: +49 30 63 92 55 20, Fax: +49 30 63 92 55 22
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Über das Unternehmen
SENTECH Instruments gehört zu den führenden Anbietern von Plasma-Prozesstechnologie Anlagen zum Beschichten sowie Ätzen sowie für ALD Prozesse und offeriert Ellipsometer zur Dünnschichtmesstechnik.
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