(openPR) Das dreiachsige Piezostellelement TRITOR 320 CAP von piezosystem jena ist ein Aktuator für hochgenaue Positionierungen. Der TRITOR 320 CAP wurde unter Einsatz von FEM-Technologie entwickelt, mit dem Ziel genauste Positionierung und herausragende Dynamik selbst bei hoher Belastung zu erreichen. Das mit Festkörpergelenken designte Element erlaubt einen spiel- und reibungsfreien Einsatz. Der TRITOR 320 CAP erreicht durch den Einsatz von kapazitiven Sensoren eine hervorragende Präzision, die sich in einer hohen Reproduzierbarkeit und einer hervorragenden Linearität und Stabilität wiederspiegelt. Besonders für Anwendungsgebiete in der Halbleiterindustrie, Oberflächenanalyse, Maskeninspektion, ist der TRITOR 320 CAP ein hervorragendes und empfehlenwertes Produkt.
Produktbesonderheiten:
•präzise und hochdynamische Bewegungen
•belastbar bis zu 200N
•1nm Auflösung in closed-loop
•Hub bis zu 320 µm
•nichtmagnetisierbare, Vakuum- oder Tieftemperaturversionen auf Anfrage
•optional mit Apertur 150 x 150mm erhältlich.
Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen oder besuchen Sie uns auf www.piezosystem.de.
Presseinformation
Hochdynamisches Positioniersystem für die Halbleiterindustrie
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Stockholmer Str. 12
07747 Jena
Deutschland
Tel: (+49) 3641 66 88-0
Fax: (+49) 3641 66 88 66
e-mail: info(at)piezojena.com
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Über das Unternehmen
piezosystem jena GmbH ist ein Anbieter im Bereich der Piezo-Positionierung. Die Piezo-Aktoren und Piezo-Tische dienen der Mikropositionierung und Nanopositionierung von Proben und optischen Systemen.
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