Vielfältige Einsatzmöglichkeiten von Vakuum in Beschichtungsverfahren

(openPR) Busch auf der V2017

Busch Vakuumpumpen und Systeme bietet maßgeschneiderte Vakuumkomponenten für das Beschichten unter Vakuum an. Auf der Industrieausstellung V2017 in Dresden stellt Busch seine trockene COBRA Schrauben-Vakuumtechnologie vor, die optimal für Prozesse geeignet ist, bei denen ein absolut zuverlässiges Fein- oder Hochvakuum in der Arbeitskammer gefordert wird.

In vielen Beschichtungsprozessen, bei denen Metalle, Kunststoffe oder Glas beschichtet werden, spielt Vakuum eine entscheidende Rolle. Dabei wird Fein- und Hochvakuumtechnologie zur Evakuierung der Vakuumkammer eingesetzt, bevor in dieser der eigentliche Prozess startet. Während des Prozesses werden vom Vakuumsystem die Reaktionsgase gefördert.

Prädestiniert für solche Beschichtungsprozesse sind trockene COBRA Schrauben-Vakuumpumpen. Sie werden immer dann eingesetzt, wenn eine betriebsmittelfreie Verdichtung gefordert wird, um eine Kontamination zwischen Prozessgasen und Betriebsmitteln zu verhindern. Durch ihren großen Arbeitsbereich bis hin zu einem Enddruck von 0,01 Millibar (abs.) eignen sich COBRA Schrauben-Vakuumpumpen für alle Arten von vakuumbasierten Beschichtungsprozessen. COBRA Schrauben-Vakuumpumpen können als bewährte Standardlösungen für den Feinvakuumbereich eingesetzt werden und direkt an die Prozesskammer angeschlossen werden. Für den Hochvakuumbereich werden COBRA Schrauben-Vakuumpumpen häufig als Vorpumpen für Turbo Turbomolekular-Vakuumpumpen eingesetzt. Diese ebenfalls betriebsmittelfreien Vakuumpumpen verbinden höchste Förderleistung mit kleinsten Abmessungen. Für leichte Beschichtungsprozesse eignen sich die Baureihen COBRA BA, NC und NX als robuste und sichere Vakuumlösungen. In anspruchsvollen Beschichtungsprozessen, wie bei der Halbleiterfertigung beispielsweise, kommen die Baureihen COBRA BC und DS zum Einsatz.