Mini-Hexapod von PI: Sechs-Achs-Bewegungen im Vakuum bis 10-6 hPa

(openPR) Bei Anwendungen innerhalb von Vakuumkammern ist der Bauraum besonders stark eingeschränkt. Weil das zu verstellende Objekt aber nicht ständig zugänglich ist, ist gerade hier oft eine besonders flexible Zustellung der Last, zum Beispiel einer Probe, gefordert.
Der neue Miniatur-Hexapod M-811.STV von Physik Instrumente (PI) löst beide Aufgaben hervorragend. Sehr kompakt gebaut, mit einem Durchmesser von nur 130 mm und einer Höhe von 115 mm, bietet er Stellwege bis zu 35 mm in der XY-Ebene und bis zu 13 mm in Z-Richtung. Insbesondere die großen Kippwinkel von 20° um X- und Y-Achse und bis zu 40° um die Senkrechte machen diesen Hexapod so vielseitig.
Der Mini-Hexapod positioniert zuverlässig Lasten bis 5 kg und erreicht Geschwindigkeiten bis 10 mm/s. Die Positionsauflösung des Einzelbeins liegt bei 40 nm; die Positionen werden mit Genauigkeiten unter 1 µm wiederholbar angefahren.
Die Ansteuerung erfolgt wie bei allen Hexapod-Modellen von PI durch einen leistungsfähigen Digitalcontroller über eine Ethernet-Verbindung. Alle (Ziel-)Positionen werden bequem in kartesischen Koordinaten angegeben.
Parallelkinematische Systeme haben einige Vorteile gegenüber gestapelten Mehrachspositionierern. So wirken alle sechs Aktoren auf eine gemeinsame Plattform, wodurch die bewegte Masse gering ist. Außerdem gibt es hier keine Aufsummierung von Führungsfehlern und Verkippungen einzelner Achsen. Der per Softwarebefehl frei definierbare Drehpunkt bleibt unabhängig von der Bewegung erhalten.