(openPR) Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions – ein Mitglied der globalen Busch Group – präsentiert seine innovative Technologie vom 18. bis 21. November 2025 auf der Semicon Europa 2025 in München.
Besucher der Semicon Europa dürfen sich auf innovative Vakuumtechnologie und Abgasreinigungssysteme freuen, die in Halbleiterfabriken und von OEMs eingesetzt werden. An Stand 561 in Halle B1 können sie sich mit Experten von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions über Vakuumpumpen, Lecksucher, Abgasreinigungssysteme und Ventile austauschen. Hier sehen Messebesucher die Highlights von Pfeiffer, darunter Vakuumpumpen und Abgasreinigungssysteme.
Vakuumpumpen für anspruchsvolle Halbleiterumgebungen
Die mehrstufige Roots-Vakuumpumpe UltiDry kombiniert Robustheit mit einem geringen Energiebedarf. Sie wurde speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt und eignet sich perfekt für anspruchsvolle Anwendungen. Die UltiDry ist für hohe Volumenströme, schwierige Betriebsbedingungen und korrosive Gase ausgelegt und bietet gleichzeitig ein hervorragendes Pulvermanagement und eine hohe Energieeffizienz.
Bessere Luftqualität dank thermischer Abgasreinigung
Die Abgasreinigungssysteme von Pfeiffer gewährleisten sichere und umweltfreundliche Halbleiterprozesse. Sie dienen in erster Linie dazu, schädliche Emissionen zu verringern und die Luftqualität zu verbessern. Durch den Einsatz innovativer Technologien bewältigen und neutralisieren diese Systeme effizient die in der Halbleiterproduktion entstehenden gefährlichen Gase und Dämpfe.
Interaktives Erlebnis mit Branchenexperten
Ein besonderes Highlight am Stand von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions zeigt, wo die verschiedenen Technologien von Pfeiffer in der Halbleiterproduktion zum Einsatz kommen: Ein interaktives, im 3D-Druckverfahren hergestelltes Modell einer Halbleiterfabrik vermittelt den Besuchern einen realistischen und anschaulichen Eindruck von den umfassenden Fab-Lösungen.
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